Sensor de temperatura óptico

Abstract

Se aprovecharon las propiedades termo-ópticas del silicio y de un material acrílico para implementar un sensor de temperatura. El elemento sensor se fabricó utilizando una oblea de silicio con 5 μm de espesor y una capa delgada de acrílico. En el presente trabajo se presenta una aproximación del modelado espectral de la pila de capas que conforman el elemento sensor. Además, para caracterizar experimentalmente el comportamiento del elemento sensor se midió el espectro de la pila de capas con respecto al cambio de temperatura aplicado. Finalmente se implementó un circuito opto-electrónico básico que nos permitió establecer la relación del cambio de voltaje versus el de temperatura. Los resultados muestran un sensor con alto grado de precisión en un rango de temperatura pequeño.