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Título: Synthesis, microstructural and optical characterization of LiNbO3 thin films deposited by aerosol assisted chemical vapor deposition
Autor: JOSE GUADALUPE MURILLO RODRIGUEZ
ID del Autor: info:eu-repo/dai/mx/cvu/895165
Resumen: This work reports the synthesis, micro-structural characterization and optical properties of lithium niobate (LiNbO3) thin films deposited by aerosol assisted chemical vapor deposition (AACVD) on silicon substrates. The films deposited were polycrystalline, uniform, dense, non-light scattering and firmly adhered to the substrate. This was deduced from high resolution electron microscopy studies and spectral reflectance measurements. The films were not epitax-ial; however, they are considered smooth enough to be employed in optical waveguide applica-tions, since their roughness is very low compared to the wavelength of the utilizable radiation.
En este trabajo se reporta la síntesis, la caracterización micro-estructural y las propiedades ópticas de películas delgadas de niobato de litio (LiNbO3) depositadas sobre sustratos de silicio mediante el método de depósito químico de vapor asistido por aerosol (AACVD). Las películas depositadas fueron poli-cristalinas, uniformes, densas, no dispersoras de luz y firmemente adheridas al sustrato. Esto se dedujo de la realización de estudios de microscopía electrónica de alta resolución y de mediciones de espectros de reflectancia óptica. Las pelícu-las no fueron epitaxiales, sin embargo, se considera que son suficientemente lisas para ser empleadas en aplicaciones de guías de onda ópticas, dado que la rugosidad es muy baja comparada con la longitud de onda de la radiación con posibilidades de uso
Fecha de publicación: 21-ago-2014
Editorial: Universidad de Guanajuato
Licencia: http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
URI: http://repositorio.ugto.mx/handle/20.500.12059/1877
Idioma: spa
Aparece en las colecciones:Revista Acta Universitaria



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